Secondary Ion Mass spectroscopy1 2차 이온화법 (SIMS, Secondary Ion Mass spectroscopy) 모든 분석방법의 원리는 그 분석방법의 이름 안에 모든 게 다 함축되어있습니다. 반도체의 성분 분석의 대표적인 방법인 SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy) 또한 마찬가지입니다. 시작하기에 앞서 다음 영상을 보고 시작합시다. (소리는 안 나네요.) 위 동영상에서 구슬 같은 파란색이 표면에 떨어지는 게 SIMS사용에는 보통 "Cs+" 이온입니다. 일반적으로 사용됩니다. 위 영상에는 그냥 툭툭 떨어지지만 약 5~20 KeV의 에너지로 충격, 즉 Sputter를 합니다. 그 충격에 의해 시편 표면에 있는 원자들이 튀어나와 detect에 나타나 기록하게 됩니다. 심플하게는 이게 SIMS의 아주 아주 아주 기본이 됩니다. 그럼 조금 더 살을 붙여보겠습니다. SIMS는 성분분석을 위해 .. 2020. 4. 24. 이전 1 다음
