분석법3 2차 이온화법 (SIMS, Secondary Ion Mass spectroscopy) 모든 분석방법의 원리는 그 분석방법의 이름 안에 모든 게 다 함축되어있습니다. 반도체의 성분 분석의 대표적인 방법인 SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy) 또한 마찬가지입니다. 시작하기에 앞서 다음 영상을 보고 시작합시다. (소리는 안 나네요.) 위 동영상에서 구슬 같은 파란색이 표면에 떨어지는 게 SIMS사용에는 보통 "Cs+" 이온입니다. 일반적으로 사용됩니다. 위 영상에는 그냥 툭툭 떨어지지만 약 5~20 KeV의 에너지로 충격, 즉 Sputter를 합니다. 그 충격에 의해 시편 표면에 있는 원자들이 튀어나와 detect에 나타나 기록하게 됩니다. 심플하게는 이게 SIMS의 아주 아주 아주 기본이 됩니다. 그럼 조금 더 살을 붙여보겠습니다. SIMS는 성분분석을 위해 .. 2020. 4. 24. X선 광전자 분광법 (XPS, X-ray Photoelectron Spectroscopy) XPS 설명을 잠깐 보고 시작합시다. (출처 : https://www.youtube.com/watch?v=FBch3luY-ow) XPS는 일반적으로 사람들에게 ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)로 잘 알려져 있죠. 전체적인 스토리를 보면 "X-ray를 이용하여 분석 시편에다 쏘아주면 거기서 생기는 Photoelectron을 detect 하여 Sepctroscopy 한다"라고 크게 맥락을 짚으시면 될 것 같네요. 핵 주위에 존재하는 전자는 X-ray(약 10^18 Hz)는 매우 강한 진동수를 가지므로 전자를 떼어내는데 빛 (x-ray)에 의해 나가는 전자이므로 Photoelectron이라고 하죠. XPS는 photoelectron을 detect 하면 .. 2020. 4. 13. 유도결합 플라즈가 원자 방출 분광법 (ICP-AES, Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy) ICP 분석에 대해 이해하기 전, 영상으로 먼저 보고 시작하시죠. (출처 : Youtube, NUS Chem Emelyn Tan) 성분분석방법 중, ICP-AES분석은 성분분석을 빠르고 쉽게 그리고 정량적으로(ppm) 분석하기에 가장 편리하고 유용하며 아주 널리 사용되는 분석 방법 중 하나입니다. ICP-AES 혹은 ICP-OES (Optical Emission Spectroscopy) 모두 같은 분석 방법입니다. 분석방법의 메커니즘은 언제나 분석 이름에 모두 나타나 있습니다. ICP-AES 또한 약자로 쉽게 해석할 수 있죠. 한글로 풀어 이해하면 "유도결합 플라즈마 원자 방출 분광법"이라고 합니다. 먼저 플라즈마 (PLASMA)에 관해서 이해할 필요가 있어요. 간단하게 플라즈마는 전기적으로 중성을 이루.. 2020. 4. 3. 이전 1 다음
